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      超薄切割片之固化樹脂法

      文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2014-11-13 14:07【

      可以讓切割片得到很好的保型性,一般采用熱固性酚醛樹脂作為結合劑,將金剛石磨粒與樹脂混合,然后用熱壓法燒結,熱固化后再進行研磨加工,這種工序需要好幾個小時,因此生產成本比較高。

      隨著生產技術的進步,熱固化樹脂逐漸被光固化樹脂所替代。光交聯性聚合物,引發劑以及添加劑組成。它和熱固化樹脂最本質的區別在于其固化的過程是靠吸收相應波長的光輻射而引起的化學反應,使光固化樹脂從液體轉變為固體。它從液體轉變為固體是分子量增加的結果,而不是溶劑揮發所造成的,故具有快速固化、無污染、節省能源的優點,但制約因素是其原材料價格較高。

      運用光固化樹脂法制造超薄切割片方面,我國利用光固化樹脂作為結合劑研制成功厚度為0.15mm的超薄型金剛石切割砂輪,并成功地完成了對單晶硅片的切割試驗。

       

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